● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

● 可选高精度：优于0.5%读数

● 量程可控比宽，0.01~100%满量程

● 响应时间快，优于30 ms

● 内置98种气体

● 可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气

量程为：0.5 SCCM -6000 SLPM

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度    ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

质量流量高精度       ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

重复性                     ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始）

                               ± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）

质量流量量程漂移    ± 0.01%读数/ ℃（从25℃开始）

                               ± 0.1 %读数/ Atm（从校准压力开始）

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类：内置了98种气体，请参考气体兼容表；一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量    程 ：从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（详情请咨询）

量程可控比（稳态）：0.01～100%满量程

最大显示流量 ：128 %满量程

最大可控流量：102.4 %满量程

显 示 屏：带背光灯按键，标准为LCD黑白显示屏（带背光），可选TFT彩色显示屏

显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精    度：±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）精度升级部分见左下角； ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）

累计流量精度：流量精度之外增加±0.5%读数的额外误差

重 复 性：±（0.2% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移：0.02%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点和满量程漂移：±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm（从校准压力开始）

控制响应时间：30ms（与流量相关，用户可调）

显示响应时间：＜10ms（与流量相关）

预热时间：＜1s

默认标况（STP）：25 ℃&1Atm（其它标况可调）

工作温度：-10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度：± 0.75℃

工作湿度：0 ～ 95 %，无冷凝

最大工作压力：1 MPa表压

最低操作压力：如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPa以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

压力精度：±0.5%读数（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

满量程压损 v参考详细压损表

数据刷新频率 ：数字信号40Hz@19200波特率；

模拟信号：1000Hz

屏幕刷新频率：10Hz

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输入/输出信号：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出：质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度： 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压：12-30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）

供电电流：250 mA，1 A，2 A（详情咨询）; 额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

电气接口： DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）：选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    质：302、303、304、316L、430FR不锈钢、FKM、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、铜、金、陶瓷；R阀门430FR不锈钢替换为410不锈钢

过程连接：标准为NPT内螺纹，详情参考压损表

安装位置：小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级： IP40（IP66可选）

认    证：ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

●  标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选
可调节PID算法 
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
可控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保

●  可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围
不锈钢阀门
高流量低压损阀门
防爆选项
集成式电位计控制

● 大学/研究所                ● 环境监测

● 真空行业及镀膜           ● 工业炉窑

● 半 导   体                     ● 汽车制造

● 光       伏                      ● 燃料电池

● 计量校准                      ● 过程工艺气体测量