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行业应用

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分析仪器检测设备

气相色谱仪进口气体流量控制
气相色谱仪出口气体流量、压力、温度监测
质谱仪、光谱仪校准
质谱分析仪反应池气体控制
气体浓度配比仪气体配比控制
气体透过率测试仪中的流量测控
氧气等各类传感器的校准

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石油化工行业

创建燃料混合物以测试热值
天然气加臭
特气混合气填充钢瓶
家用燃气表的校准
离岸应用，例如在勘探平台实验室中的应用，以及用于测量海洋钻井气体渗透

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玻璃光纤高新材料

制备石墨烯及人造金刚石PECVD设备对工艺气体的精确控制
制备生产光纤预制棒的MCVD设备工艺气体的精确控制

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气密性检测

质量流量检漏仪
差分流量检漏仪
真空流量检漏仪
流通性测试台

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燃料电池与新能源

燃料电池膜性能测试
氢能源电池性能测试
电堆气密性检测
发动机测试台架气密性测试
发动机流量通过性测试
燃料电池发动机综合性能测试

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真空镀膜表面处理

真空镀膜设备中工艺气体流量的精确控制
真空等离子清洗机中工艺气体的控制
真空热处理设备中保护气体流量的控制
真空镀膜设备配气模块流量校准
IGS系统集成

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生物工艺与反应

用于细菌生长的气体定量给料
藻类养殖的CO2供应控制
啤酒酿造中的氧气供应控制
气体混合装置用于校准氧传感器以监测啤酒质量
液体试剂定量给料
优化微生物过程控制

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半导体与LED

切割（激光）前在晶片上沉积保护层
金属有机化学气相沉积（MOCVD）
原子层沉积（ALD）
超临界流体定量给料和控制（如超临界二氧化碳清洗）
平板显示器（FPD）喷涂

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环境监测保护

空气质量监测系统中对空气量进行计量
颗粒物大气采样仪中对流量进行校准
气体分析仪、动态气体校准仪等的流量校准
气体分析、动态气体校准仪等的流量控制
苏玛罐采样的过程流量控制

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