● 原理:层流压差式流量控制器
● 精度:±1.0%设定值精度
● 高重复性:±0.2%F.S.
● 宽温度、压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
● 可选模拟信号、数字信号:(0~5)V、RS485传输方式方式
● 提供:上位机软件实时显示和下载数据信息
● 兼容内置:49种气体和可编辑的混合气体
● 工作流量范围:1%~120%F.S.
● 介质温度:-20℃~50℃
● 环境温度:-20℃~50℃
● 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
● 最大工作压力:1Mpa
● 耐压:1.5Mpa
● 供电电压:﹢(18~30)VDC
● 消耗电流:<150mA (供电电压为24v时) <300mA(<5V)
● 安装方式:无指定(任意角度)
● PIPG-MC101(微流量)
PIPG-MC101-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-MC101-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-MC101-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-MC101-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-MC101-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-MC101-01-0020 | 20 SCCM
● PIPG-MC102(小流量)
PIPG-MC102-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-MC102-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-MC102-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-MC102-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-MC102-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-MC102-01-2000 | 2000 SCCM
● PIPG-MC120(中流量)
PIPG-MC120-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-MC120-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-MC120-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-MC120-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-MC120-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-MC120-02-0200 | 200 SLPM
● PIPG-MC150(大流量)
PIPG-MC150-02-0500 | 500 SLPM
PIPG-MC150-02-1000 | 1000 SLPM
PIPG-MC150-02-1500 | 1500 SLPM
PIPG-MC150-02-2000 | 2000 SLPM
PIPG-MC150-02-3000 | 3000 SLPM
PIPG-MC150-02-4000 | 4000 SLPM
PIPG-MC150-02-5000 | 5000 SLPM
● 镀膜设备
溅射镀膜设备中的流控器件
● 光伏设备
光伏行业集成设备中的流控器件
● 热喷涂设备
热喷涂过程的流量控制