● 提供:上位机软件实时显示和下载数据信息
● 可选模拟信号、数字信号:(4~20)mA/(0~5)V、RS485传输方式
● 宽温度、压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
● 高重复性:±0.2%F.S.
● 精度:±1.0%满量程精度
● 原理:层流压差式流量控制器
● 兼容内置:49种气体和可编辑的混合气体
● 工作流量范围:1%~120%F.S.
● 介质温度:-20℃~50℃
● 环境温度:-20℃~50℃
● 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
● 最大工作压力:1Mpa
● 耐压:1.5Mpa
● 供电电压:24V ±20%
● 消耗电流:<500mA (供电电压为24v时)(<12V)
● 安装方式:无指定(任意角度)
● PIPG-EMC-01(小流量)
PIPG-EMC-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-EMC-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-EMC-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-EMC-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-EMC-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-EMC-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-EMC-01-2000 | 2000 SCCM
● PIPG-EMC-02(中流量)
PIPG-EMC-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-EMC-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-EMC-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-EMC-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-EMC-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-EMC-02-0200 | 200 SLPM
PIPG-EMC-02-0250 | 250 SLPM
● 实验装置
混气实验和配气装置
● 镀膜设备
溅射镀膜设备中的流控器件
● 热喷涂设备
热喷涂过程的流量控制
● 光伏设备
光伏行业集成设备中的流控器件