高精确度 (标准 0,5% Rd + 0,1% FS)
在数字模式下的最大量程比可达 1:187,5
反应灵敏(最低为200 msec),重复性能好
可选配 ‘多气体‘/’多范围‘:可自由编程流量范围和气体类型
压力等级64/100bar (10bar以下可选配多介质/多量程功能)
可选高压版本
模拟 I/O-信号, RS232-连接; 可选的板载总线接口
所有的表面都经过了电化学抛光处理
紧凑,模块式结构
可选配金属密封和/或者上下连接式结构
分析/环保设备
在食品,化学和石化行业中气体流量的监控
气体消耗监测和核算
通过相应对象来检测气体的泄漏情况
半导体制造业
表面处理装置
质量流量计(满量程,N2当量)
PN 100 bar | PN 200 bar | PN 400 bar | |
---|---|---|---|
F-110C | 0.7 … 9 mln/min | F-120M | 10 … 15 mln/min | F-130M | 10 … 15 mln/min | |
F-111B | 0,008 … 25 ln/min | F-121M | 0.015 … 20 ln/min | F-131M | 0.015 … 20 ln/min | |
F-111AC | 20 … 100 ln/min | F-121M | 0,015 … 20 ln/ | F-131M | 0.015 … 20 ln/min | |
F-112AC | 40 … 250 ln/min | F-122M | 15 … 250 ln/min | F-132M | 15 … 250 ln/min | |
F-113AC | 200 … 1670 ln/min | F-123M | 200 … 1250 ln/min | F-133M | 200 … 1250 ln/min |