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● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数可控：质量流量、体积流量和压力
● 可选高精度：可优于0.5 %读数
● 量程可控比宽，0.5~100 %满量程
● 满量程超低压损最低为480 Pa
● 阀门响应时间快，优于100 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差
± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差
± 0.1 % 读数 / Atm压力差
介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 : 内置了98种气体，请参考气体兼容表；一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程：从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比：0.5～100%满量程
最大显示流量：128 %满量程
最大可控流量：102.4 % 满量程
显 示 屏：带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度：±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程） 精度升级部分见左下角
±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）
累计流量精度：流量精度之外增加±0.5%读数误差
重 复 性：±（0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移：0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移：±（0.08 % 读数+ 0.02 % 满量程）/ Atm
（从校准压力开始）
控制响应时间（T63，用户可调）：小阀门：30 ms；R阀门：150 ms
显示响应时间：127 ms（用户可调）
预热时间：＜ 1 s
默认标况（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
阀门功能：常闭型
工作温度：-10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度：± 0.75 ℃
工作湿度：0 ～ 95 %，无冷凝
最大工作压力：0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa
最低操作压力：如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用； 其他真空压力建议做特殊标定
压力精度：± 0.75 %读数（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
满量程压损：参考详细压损表
数据刷新频率： 数字信号40 Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率：10 Hz
数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模拟输入/输出信号：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出：质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度：在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压：12 - 30 VDC
供电电流：250 mA，1 A，2 A（详情咨询），额外加 40 mA（4-20 mA）
电气接口：DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏）：选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质：302、303、304、430FR不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、铜、金、R阀门430FR不锈钢替换为410不锈钢
过程连接：详情参考压损表
安装位置：小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装
防护等级：IP40
认 证：ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
● 低温容器检测
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 汽车制造
● 过程工艺气体测量
