●  数字化产品

●  多参数显示和输出：温度、压力、流量等
●  可选高精度：可优于0.5%
●  可测范围广，0.01~100%满量程

●  满量程超低压损最低为480Pa

●  响应时间快，优于10 ms

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

量程为：0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度        ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

质量流量高精度           ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）

重复性                        ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移       ± 0.03% 满量程 / ℃温差± 0.01% 满量程 / Atm压力差

质量流量量程漂移       ± 0.01% 读数 / ℃温差± 0.1 % 读数 / Atm压力差

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类：内置了98种气体，请参考背面；一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程：从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可测比：0.01%～100%满量程

最大显示流量：128%满量程

显  示  屏：带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度：± （0.8%读数 + 0.2%满量程） 精度升级部分见左下角

                 ± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）

累计流量精度： 流量精度之外额外增加±0.5%读数误差

重  复  性：±（0.2%读数+0.02%满量程）

质量流量温度零点和满量程漂移：0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）

质量流量压力零点和满量程漂移：±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm

                 （从校准压力开始）

响应时间：127 ms（可调）                  

预热时间：< 1 s

默认标况（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度： -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度： ± 0.75 ℃

工作湿度：0 ～ 95 %，无冷凝

最大工作压力：0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa

最低操作压力：如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用； 其他真空压力建议做特殊标定

压力精度：±0.75%读数（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

满量程压损：参考详细压损表

数据刷新频率：数字信号40 Hz@ 19200波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率：10 Hz

数字输出信号：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输出信号：0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA

可选第二路模拟输出：质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度： 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压：9-24 VDC（如选4-20 mA或0-10VDC输出，须为12-24VDC）

供电电流：40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC）

电气接口：DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）：选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He 

材       质 ：302、303不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、金

过程连接：详情参考压损表

安装方式： 对位置无要求                      

防护等级： IP40

认    证：ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选）

●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
超低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入 (仅用于质量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选 (仅用于质量流量控制器)
可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
可测量和控制从0.5SCCM到500SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保

●可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
ProfiBUS数字信号输入(仅用于质量流量控制器)
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出 (仅用于质量流量计)
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR、VCO 接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围
不锈钢阀门 (仅用于质量流量控制器)
高流量低压损阀门 (仅用于质量流量控制器)
集成式电位计控制 (仅用于质量流量控制器)

● 低温容器检测        ● 大学/研究所
● 泄漏检测               ● 环境监测
● 汽车制造               ● 过程工艺气体测量